24小时热门版块排行榜    

查看: 2251  |  回复: 5

永远爱家的YY

金虫 (小有名气)

[求助] 请问PVD中的阴极电弧蒸发(CAE)和阴极电弧沉积(CAD)是同一种PVD工艺吗?

RT~
    最近在查找有关阴极电弧蒸发(CAE,cathodic arc evaporation)沉积出来的TiAlN涂层的表面粗糙度的文献资料 但是发现很多文献中提到的是阴极电弧沉积(CAD,cathodic arc deposition)出来的,不知阴极电弧蒸发(CAE)和阴极电弧沉积(CAD)是同一种PVD工艺吗?
    我还看到有文献上说阴极电弧沉积(CAD)又叫电弧离子镀(arc ion plating)。这就弄的我更昏了,蒸发工艺和离子镀工艺应该不是指的同一种吧?
     求高人指点呀~~~
     另外,有人知道阴极电弧蒸发(CAE,cathodic arc evaporation)沉积出来的TiAlN涂层的表面粗糙度大概在什么范围内吗?非常感谢!
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

没有人能随随便便成功
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

TiAlSiN涂层

金虫 (小有名气)

我觉得应该是一样的,其实都是引发电弧蒸发靶材然后进行沉积,粗糙度就不大清楚了
生命不息...
2楼2012-05-27 09:22:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

scutcxw

铁杆木虫 (正式写手)

阴极电弧蒸发是阴极电弧沉积的一种,电弧离子镀就是阴极电弧蒸发,弧光放电,相当于很微小的熔池,把阴极靶材在微小区域熔化,然后在偏压作用下沉积到工件上。
感恩的心!
3楼2012-07-05 10:05:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ahutwww

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

CAD或者CAE都属于PVD的一个范畴,既多弧离子镀。还有TiAlN涂层什么的不是用粗糙度来衡量的,是表面光洁度,通过后处理是可以提高表面光洁度的。
4楼2012-08-16 20:08:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lsx2121

捐助贵宾 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

5楼2013-02-18 11:53:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huangjian368

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

阴极电弧沉积是通过弧光放电 ,将靶原子蒸发出来,然后通过偏压的作用沉积在基体材料上!还有,将靶原子阴极电弧有个缺点就是有“液滴”,如果设备没有磁过滤装置或其他消除“液滴”措施的话,会影响到表面粗糙度!
flyfreefish
6楼2013-04-24 10:51:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 永远爱家的YY 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 化学工程321分求调剂 +7 大米饭! 2026-03-15 7/350 2026-03-16 10:25 by 了了了了。。
[考研] 0703化学调剂 +4 妮妮ninicgb 2026-03-15 7/350 2026-03-16 09:43 by 闲人终南山
[考研] 085601材料工程315分求调剂 +3 yang_0104 2026-03-15 3/150 2026-03-15 10:58 by peike
[考研] 289求调剂 +4 这么名字咋样 2026-03-14 6/300 2026-03-14 18:58 by userper
[考研] 330求调剂 +3 ?酱给调剂跪了 2026-03-13 3/150 2026-03-14 10:13 by JourneyLucky
[考研] 环境调剂 +6 晓看天暮看云 2026-03-09 6/300 2026-03-14 01:16 by JourneyLucky
[考研] 材料工程,326分,求调剂 +6 KRSLSR 2026-03-10 6/300 2026-03-13 23:47 by JourneyLucky
[考研] 0805,333求调剂 +3 112253525 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:42 by JourneyLucky
[考研] 341求调剂 +3 番茄头--- 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:07 by JourneyLucky
[考研] 332求调剂 +3 zjy101327 2026-03-11 6/300 2026-03-13 22:48 by JourneyLucky
[考研] 0703化学调剂 +4 快乐的香蕉 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:41 by JourneyLucky
[考研] 085600调剂 +5 漾漾123sun 2026-03-12 5/250 2026-03-13 22:06 by 星空星月
[考研] 求材料调剂 +5 隔壁陈先生 2026-03-12 5/250 2026-03-13 22:03 by 星空星月
[考研] 工科材料085601 279求调剂 +8 困于星晨 2026-03-12 10/500 2026-03-13 15:42 by ms629
[考研] 314求调剂 +7 无懈可击的巨人 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:40 by JourneyLucky
[考研] 289求调剂 +3 李政莹 2026-03-12 3/150 2026-03-13 11:02 by 求调剂zz
[考研] 268求调剂 +4 好运连绵不绝 2026-03-12 4/200 2026-03-13 10:45 by hyswxzs
[考博] 26读博 +4 Rui135246 2026-03-12 10/500 2026-03-13 07:15 by gaobiao
[基金申请] 提交后的基金本子,已让学校撤回了,可否换口子提交 +3 dut_pfx 2026-03-10 3/150 2026-03-11 08:38 by kudofaye
[考研] 收调剂 +7 调剂的考研学生 2026-03-10 7/350 2026-03-10 17:57 by 麦茶汤圆
信息提示
请填处理意见