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永远爱家的YY金虫 (小有名气)
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[求助]
请问PVD中的阴极电弧蒸发（CAE）和阴极电弧沉积（CAD）是同一种PVD工艺吗？
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RT~ 最近在查找有关阴极电弧蒸发（CAE，cathodic arc evaporation）沉积出来的TiAlN涂层的表面粗糙度的文献资料 但是发现很多文献中提到的是阴极电弧沉积（CAD，cathodic arc deposition）出来的，不知阴极电弧蒸发（CAE）和阴极电弧沉积（CAD）是同一种PVD工艺吗？ 我还看到有文献上说阴极电弧沉积（CAD）又叫电弧离子镀（arc ion plating）。这就弄的我更昏了，蒸发工艺和离子镀工艺应该不是指的同一种吧？ 求高人指点呀~~~ 另外，有人知道阴极电弧蒸发（CAE，cathodic arc evaporation）沉积出来的TiAlN涂层的表面粗糙度大概在什么范围内吗？非常感谢！ |
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TiAlSiN涂层
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