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永远爱家的YY

金虫 (小有名气)

[求助] 请问PVD中的阴极电弧蒸发(CAE)和阴极电弧沉积(CAD)是同一种PVD工艺吗?

RT~
    最近在查找有关阴极电弧蒸发(CAE,cathodic arc evaporation)沉积出来的TiAlN涂层的表面粗糙度的文献资料 但是发现很多文献中提到的是阴极电弧沉积(CAD,cathodic arc deposition)出来的,不知阴极电弧蒸发(CAE)和阴极电弧沉积(CAD)是同一种PVD工艺吗?
    我还看到有文献上说阴极电弧沉积(CAD)又叫电弧离子镀(arc ion plating)。这就弄的我更昏了,蒸发工艺和离子镀工艺应该不是指的同一种吧?
     求高人指点呀~~~
     另外,有人知道阴极电弧蒸发(CAE,cathodic arc evaporation)沉积出来的TiAlN涂层的表面粗糙度大概在什么范围内吗?非常感谢!
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没有人能随随便便成功
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scutcxw

铁杆木虫 (正式写手)

阴极电弧蒸发是阴极电弧沉积的一种,电弧离子镀就是阴极电弧蒸发,弧光放电,相当于很微小的熔池,把阴极靶材在微小区域熔化,然后在偏压作用下沉积到工件上。
感恩的心!
3楼2012-07-05 10:05:53
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查看全部 6 个回答

TiAlSiN涂层

金虫 (小有名气)

我觉得应该是一样的,其实都是引发电弧蒸发靶材然后进行沉积,粗糙度就不大清楚了
生命不息...
2楼2012-05-27 09:22:16
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ahutwww

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

CAD或者CAE都属于PVD的一个范畴,既多弧离子镀。还有TiAlN涂层什么的不是用粗糙度来衡量的,是表面光洁度,通过后处理是可以提高表面光洁度的。
4楼2012-08-16 20:08:17
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lsx2121

捐助贵宾 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

5楼2013-02-18 11:53:52
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