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多弧离子镀靶材如何选择？ 已有1人参与
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| 看了几篇制备多元硬质薄膜（含si）的文献，没有一篇是用单质硅的，都是用的硅的合金靶！为什么呢？选择靶材又有什么要求呢？ |
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 真空镀膜类技术资料 |
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2楼2014-09-13 11:01:14