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chenjin铁杆木虫 (著名写手)
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[交流]
请教：射频溅射过程无自偏压 是什么原因？
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最近用射频电源做试验，以前用过一段时间，自偏压有600V左右。 由于实验室最近调整，电源再次安装上试验，发现溅射过程中无自偏压。而自偏压对成膜质量有很大影响。请问各位无自偏压是什么原因呢？ 自偏压和气氛，压强等有关，但我们的试验条件没有改变。 请射频溅射方面的专家赐教！ [ Last edited by chenjin on 2008-4-10 at 16:39 ] |
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chenjin
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