| 查看: 698 | 回复: 3 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
chenjin铁杆木虫 (著名写手)
|
[交流]
请教：射频溅射过程无自偏压 是什么原因？
|
||
|
最近用射频电源做试验，以前用过一段时间，自偏压有600V左右。 由于实验室最近调整，电源再次安装上试验，发现溅射过程中无自偏压。而自偏压对成膜质量有很大影响。请问各位无自偏压是什么原因呢？ 自偏压和气氛，压强等有关，但我们的试验条件没有改变。 请射频溅射方面的专家赐教！ [ Last edited by chenjin on 2008-4-10 at 16:39 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急
已经有8人回复
-
面上没中，邀请各位路过的虫友分析一下分数
已经有12人回复
-
两块石头
已经有8人回复
-
初秋的晨风
已经有6人回复
-
学科评审组评审是指会评吗？
已经有9人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急
已经有14人回复
-
广西大学-广州大学招聘博士后 欢迎广大优秀人才！！！
已经有7人回复
-
科研人应该花精力去思考如何解决问题，而不是去凝练问题
已经有17人回复
-
Ei源刊怎么投
已经有4人回复
-
哈尔滨工业大学韩晓军教授课题组招收2027年硕士推免生及博士研究生
已经有3人回复
2楼2008-04-15 11:05:37
chenjin
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 5146.8
- 散金: 133
- 红花: 6
- 帖子: 2033
- 在线: 450.7小时
- 虫号: 102844
- 注册: 2005-11-14
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2008-04-22 16:38:03
4楼2008-04-28 16:20:27