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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 请教：射频溅射过程无自偏压 是什么原因？
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chenjin

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 请教：射频溅射过程无自偏压 是什么原因？

最近用射频电源做试验，以前用过一段时间，自偏压有600V左右。 由于实验室最近调整，电源再次安装上试验，发现溅射过程中无自偏压。而自偏压对成膜质量有很大影响。请问各位无自偏压是什么原因呢？ 自偏压和气氛，压强等有关，但我们的试验条件没有改变。 请射频溅射方面的专家赐教！

[ Last edited by chenjin on 2008-4-10 at 16:39 ]
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1楼 2008-04-10 16:22:51
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渔翁860

金虫 (正式写手)
★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢回答
自偏压反映的是电位，不知道你做的是什么材料？建议把设备清洗后换上金属材料实验，等射频源匹配好后再换成你自己的材料
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2楼2008-04-15 11:05:37
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chenjin

铁杆木虫 (著名写手)
谢谢楼上，确实是这样的问题
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3楼2008-04-22 16:38:03
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wwei

铜虫 (小有名气)
射频源安全性怎么样，哪一家的用的比较多啊，请教
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4楼2008-04-28 16:20:27
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