| 查看: 724 | 回复: 3 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
chenjin铁杆木虫 (著名写手)
|
[交流]
请教：射频溅射过程无自偏压 是什么原因？
|
||
|
最近用射频电源做试验，以前用过一段时间，自偏压有600V左右。 由于实验室最近调整，电源再次安装上试验，发现溅射过程中无自偏压。而自偏压对成膜质量有很大影响。请问各位无自偏压是什么原因呢？ 自偏压和气氛，压强等有关，但我们的试验条件没有改变。 请射频溅射方面的专家赐教！ [ Last edited by chenjin on 2008-4-10 at 16:39 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
【长期招聘】复旦大学 AI 制药实验室 博士后招聘
已经有12人回复
-
2027博士申请-临床检验诊断学、病原生物学、微生物方向
已经有5人回复
-
各位基础老师们，看完中央《从严治党》的决定后，对学术界更加有信心了吧
已经有4人回复
2楼2008-04-15 11:05:37
chenjin
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 5146.8
- 散金: 133
- 红花: 6
- 帖子: 2033
- 在线: 450.7小时
- 虫号: 102844
- 注册: 2005-11-14
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2008-04-22 16:38:03
4楼2008-04-28 16:20:27