| 查看: 628 | 回复: 3 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
chenjin铁杆木虫 (著名写手)
|
[交流]
请教：射频溅射过程无自偏压 是什么原因？
|
||
|
最近用射频电源做试验，以前用过一段时间，自偏压有600V左右。 由于实验室最近调整，电源再次安装上试验，发现溅射过程中无自偏压。而自偏压对成膜质量有很大影响。请问各位无自偏压是什么原因呢？ 自偏压和气氛，压强等有关，但我们的试验条件没有改变。 请射频溅射方面的专家赐教！ [ Last edited by chenjin on 2008-4-10 at 16:39 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
290调剂生物0860
已经有5人回复
-
359求调剂
已经有3人回复
-
求调剂，985材料与化工348分
已经有5人回复
-
211本科材料化工求调剂
已经有9人回复
-
材料考研调剂
已经有24人回复
-
366求调剂
已经有5人回复
-
求调剂，一志愿大连理工大学354分
已经有5人回复
-
308求调剂
已经有3人回复
-
266求调剂，一志愿哈工程电子信息，本科获多项国奖和省奖
已经有7人回复
-
求调剂
已经有12人回复
chenjin
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 5146.8
- 散金: 133
- 红花: 6
- 帖子: 2033
- 在线: 450.7小时
- 虫号: 102844
- 注册: 2005-11-14
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2008-04-22 16:38:03
2楼2008-04-15 11:05:37
4楼2008-04-28 16:20:27
