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chenjin铁杆木虫 (著名写手)
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[交流]
请教:射频溅射过程无自偏压 是什么原因?
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最近用射频电源做试验,以前用过一段时间,自偏压有600V左右。 由于实验室最近调整,电源再次安装上试验,发现溅射过程中无自偏压。而自偏压对成膜质量有很大影响。请问各位无自偏压是什么原因呢? 自偏压和气氛,压强等有关,但我们的试验条件没有改变。 请射频溅射方面的专家赐教! [ Last edited by chenjin on 2008-4-10 at 16:39 ] |
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4楼2008-04-28 16:20:27
2楼2008-04-15 11:05:37
chenjin
铁杆木虫 (著名写手)
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