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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » XRD测试：（0001）蓝宝石上溅射AlN薄膜，有的片子有很明显的基片峰，有的一点都没有？
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小河不拉货

金虫 (正式写手)

[求助] XRD测试：（0001）蓝宝石上溅射AlN薄膜，有的片子有很明显的基片峰，有的一点都没有？ 已有2人参与

如题，薄膜厚度大约在1.3um，我之前在si基片上做薄膜都是有基片峰的，换成蓝宝石基片就有时候没峰

另外奇怪的是同一条件下，如果是现在蓝宝石基片上长一层100nm左右的Pt电极，反而经常能扫出（0006）的蓝宝石基片峰

看的文献好像也不少了，但是就是不明白这个貌似简单的问题
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1楼 2014-08-01 13:02:47
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
你说的（0006）峰是AlN的还是蓝宝石？
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2楼2014-08-03 17:15:08
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那个

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

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你这个有点不合常理
是不是仪器的问题？
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俺们中心提供各种分析测试，iso品质，有需要站内哈~~~~
3楼2014-08-03 21:07:54
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匿名

用户注销 (正式写手)
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4楼2014-08-04 20:19:05
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小河不拉货

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2014-08-03 17:15:08
你说的（0006）峰是AlN的还是蓝宝石？

蓝宝石，我后来问了一下其他同学，貌似是因为测试的问题，不是薄膜的问题
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5楼2014-08-06 02:12:47
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小河不拉货

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by TaoGG at 2014-08-04 20:19:05
下次出现的时候    样品平面转动90°   就没有单晶基体的峰了     （如果还有，再转大约45°试试）

不过薄膜厚度微米级，基体为单晶，做xrd时注意啊，避免损伤x射线探测器。

恩，应该没问题，这个设备以前经常扫蓝宝石的
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6楼2014-08-06 02:13:30
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小河不拉货

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 那个 at 2014-08-03 21:07:54
你这个有点不合常理
是不是仪器的问题？

好像是测试的问题，我回头再试试
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7楼2014-08-06 02:13:52
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小河不拉货

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by TaoGG at 2014-08-04 20:19:05
下次出现的时候    样品平面转动90°   就没有单晶基体的峰了     （如果还有，再转大约45°试试）

不过薄膜厚度微米级，基体为单晶，做xrd时注意啊，避免损伤x射线探测器。

不对啊，我想要基片峰，这样才能校准，得出准确的AlN的峰啊
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8楼2014-08-06 02:14:34
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匿名

用户注销 (正式写手)
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9楼2014-08-06 12:42:09
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