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小河不拉货金虫 (正式写手)
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XRD测试:(0001)蓝宝石上溅射AlN薄膜,有的片子有很明显的基片峰,有的一点都没有? 已有2人参与
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如题,薄膜厚度大约在1.3um,我之前在si基片上做薄膜都是有基片峰的,换成蓝宝石基片就有时候没峰 另外奇怪的是同一条件下,如果是现在蓝宝石基片上长一层100nm左右的Pt电极,反而经常能扫出(0006)的蓝宝石基片峰 看的文献好像也不少了,但是就是不明白这个貌似简单的问题 |
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小河不拉货
金虫 (正式写手)
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5楼2014-08-06 02:12:47
wbcui
至尊木虫 (知名作家)
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3楼2014-08-03 21:07:54
匿名
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