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小河不拉货

金虫 (正式写手)

[求助] XRD测试:(0001)蓝宝石上溅射AlN薄膜,有的片子有很明显的基片峰,有的一点都没有? 已有2人参与

如题,薄膜厚度大约在1.3um,我之前在si基片上做薄膜都是有基片峰的,换成蓝宝石基片就有时候没峰

另外奇怪的是同一条件下,如果是现在蓝宝石基片上长一层100nm左右的Pt电极,反而经常能扫出(0006)的蓝宝石基片峰

看的文献好像也不少了,但是就是不明白这个貌似简单的问题
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小河不拉货

金虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by TaoGG at 2014-08-04 20:19:05
下次出现的时候    样品平面转动90°   就没有单晶基体的峰了     (如果还有,再转大约45°试试)

不过薄膜厚度微米级,基体为单晶,做xrd时注意啊,避免损伤x射线探测器。

恩,应该没问题,这个设备以前经常扫蓝宝石的
6楼2014-08-06 02:13:30
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查看全部 9 个回答

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

你说的(0006)峰是AlN的还是蓝宝石?
2楼2014-08-03 17:15:08
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那个

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
感谢参与,应助指数 +1
你这个有点不合常理
是不是仪器的问题?
俺们中心提供各种分析测试,iso品质,有需要站内哈~~~~
3楼2014-08-03 21:07:54
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匿名

用户注销 (正式写手)

本帖仅楼主可见
4楼2014-08-04 20:19:05
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