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小河不拉货金虫 (正式写手)
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XRD测试：（0001）蓝宝石上溅射AlN薄膜，有的片子有很明显的基片峰，有的一点都没有？ 已有2人参与
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如题，薄膜厚度大约在1.3um，我之前在si基片上做薄膜都是有基片峰的，换成蓝宝石基片就有时候没峰 另外奇怪的是同一条件下，如果是现在蓝宝石基片上长一层100nm左右的Pt电极，反而经常能扫出（0006）的蓝宝石基片峰 看的文献好像也不少了，但是就是不明白这个貌似简单的问题  |
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小河不拉货
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wbcui
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