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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » STM设备烘烤之后奇怪的现象
汕头大学海洋科学接受调剂
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小雨南

银虫 (小有名气)

[求助] STM设备烘烤之后奇怪的现象 已有2人参与

Hi~~大家好，我是一枚半路出家的研究生。
  目前在使用一台 unisoku的STM设备（10年前的老古董了），三个腔室 观测室，处理室和LL室。均达到了5E-10torr的真空度。
  有一天，处理室里的架子掉了，把腔室打开了修好之后，然后再抽真空时，就只能到E-9torr了。教授说需要再烘烤设备，于是，我就开始了3天连续的烘烤。
  手册上写，烘烤时，达到5E-7torr之后，就可以停止烘烤，然后开ion pump神马的。可是！！！问题出现了~~~~
   按理说，关闭加热之后，真空度应该会继续下降，（第一次的经验也是，关闭加热之后，从E-7很快就会到E-8）。
   可是，真空度却迅速恶化~~~~从E-7在20分钟以内 会恶化到E-3torr，然后再慢慢回落。如果在恶化的途中，再次加热的话，真空度会迅速变好~~~~
   以上~~~
  这到底是什么情况~~~~~~应该不会漏气，因为即使这样子 最后还是会达到E-10torr的~~~

  诸位大神帮帮忙~~~小女子在此先谢过了~~~
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1楼 2014-07-14 16:11:06
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wsh8511

金虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 小雨南 at 2014-08-04 09:56:20
我们还真从来没用丙酮检验过

因为设备是重新组装的~几乎所有port点都是重新安装的~~~~~~~~~

虽然现象很奇怪 但是最终都会到-10torr
奇怪的是在于 停止加热之后 真空度迅速变坏，但是一旦再加热 就会迅速变好 ...

这个现象可能是由于ion gauge的degasing引起的。

不过没有关系，只要冷却以后可以达到-10就可以了。

以后开腔室或者打开port重新装好以后都可以用丙酮或者乙醇检一下漏
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8楼2014-08-04 11:14:15
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小雨南

银虫 (小有名气)
为何没人回我............
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2楼2014-07-15 09:20:29
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白菜胡萝卜

木虫 (正式写手)
这东西说不准的，只要最后能把真空抽好就可以。具体方法只要在原理上是对仪器不产生损伤的就可以。
至于这个原因，有可能是因为腔体内有残余的气体。也有可能是你烘烤的时候不小心烘烤了真空规。不过这都是瞎猜了啦。
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3楼2014-08-01 19:15:57
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小雨南

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 白菜胡萝卜 at 2014-08-01 20:15:57
这东西说不准的，只要最后能把真空抽好就可以。具体方法只要在原理上是对仪器不产生损伤的就可以。
至于这个原因，有可能是因为腔体内有残余的气体。也有可能是你烘烤的时候不小心烘烤了真空规。不过这都是瞎猜了啦 ...

不过 最近好像抽不到-10了~~我最近很闹心这个~~~~~
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4楼2014-08-01 19:20:15
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