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小雨南

银虫 (小有名气)

[求助] STM设备烘烤之后奇怪的现象 已有2人参与

Hi~~大家好,我是一枚半路出家的研究生。
  目前在使用一台 unisoku的STM设备(10年前的老古董了),三个腔室 观测室,处理室和LL室。均达到了5E-10torr的真空度。
  有一天,处理室里的架子掉了,把腔室打开了修好之后,然后再抽真空时,就只能到E-9torr了。教授说需要再烘烤设备,于是,我就开始了3天连续的烘烤。
  手册上写,烘烤时,达到5E-7torr之后,就可以停止烘烤,然后开ion pump神马的。可是!!!问题出现了~~~~
   按理说,关闭加热之后,真空度应该会继续下降,(第一次的经验也是,关闭加热之后,从E-7很快就会到E-8)。
   可是,真空度却迅速恶化~~~~从E-7在20分钟以内 会恶化到E-3torr,然后再慢慢回落。如果在恶化的途中,再次加热的话,真空度会迅速变好~~~~
   以上~~~
  这到底是什么情况~~~~~~应该不会漏气,因为即使这样子 最后还是会达到E-10torr的~~~

  诸位大神帮帮忙~~~小女子在此先谢过了~~~
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wsh8511

金虫 (正式写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 小雨南 at 2014-08-04 09:56:20
我们还真从来没用丙酮检验过

因为设备是重新组装的~几乎所有port点都是重新安装的~~~~~~~~~

虽然现象很奇怪 但是最终都会到-10torr
奇怪的是在于 停止加热之后 真空度迅速变坏,但是一旦再加热 就会迅速变好 ...

这个现象可能是由于ion gauge的degasing引起的。

不过没有关系,只要冷却以后可以达到-10就可以了。

以后开腔室或者打开port重新装好以后都可以用丙酮或者乙醇检一下漏
8楼2014-08-04 11:14:15
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小雨南

银虫 (小有名气)

为何没人回我............
2楼2014-07-15 09:20:29
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白菜胡萝卜

木虫 (正式写手)


这东西说不准的,只要最后能把真空抽好就可以。具体方法只要在原理上是对仪器不产生损伤的就可以。
至于这个原因,有可能是因为腔体内有残余的气体。也有可能是你烘烤的时候不小心烘烤了真空规。不过这都是瞎猜了啦。
3楼2014-08-01 19:15:57
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小雨南

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 白菜胡萝卜 at 2014-08-01 20:15:57
这东西说不准的,只要最后能把真空抽好就可以。具体方法只要在原理上是对仪器不产生损伤的就可以。
至于这个原因,有可能是因为腔体内有残余的气体。也有可能是你烘烤的时候不小心烘烤了真空规。不过这都是瞎猜了啦 ...

不过 最近好像抽不到-10了~~我最近很闹心这个~~~~~
4楼2014-08-01 19:20:15
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