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STM设备烘烤之后奇怪的现象 已有2人参与
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Hi~~大家好，我是一枚半路出家的研究生。 目前在使用一台 unisoku的STM设备（10年前的老古董了），三个腔室 观测室，处理室和LL室。均达到了5E-10torr的真空度。 有一天，处理室里的架子掉了，把腔室打开了修好之后，然后再抽真空时，就只能到E-9torr了。教授说需要再烘烤设备，于是，我就开始了3天连续的烘烤。 手册上写，烘烤时，达到5E-7torr之后，就可以停止烘烤，然后开ion pump神马的。可是！！！问题出现了~~~~ 按理说，关闭加热之后，真空度应该会继续下降，（第一次的经验也是，关闭加热之后，从E-7很快就会到E-8）。 可是，真空度却迅速恶化~~~~从E-7在20分钟以内 会恶化到E-3torr，然后再慢慢回落。如果在恶化的途中，再次加热的话，真空度会迅速变好~~~~ 以上~~~ 这到底是什么情况~~~~~~应该不会漏气，因为即使这样子 最后还是会达到E-10torr的~~~ 诸位大神帮帮忙~~~小女子在此先谢过了~~~ |
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