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小雨南

银虫 (小有名气)

[求助] STM设备烘烤之后奇怪的现象 已有2人参与

Hi~~大家好,我是一枚半路出家的研究生。
  目前在使用一台 unisoku的STM设备(10年前的老古董了),三个腔室 观测室,处理室和LL室。均达到了5E-10torr的真空度。
  有一天,处理室里的架子掉了,把腔室打开了修好之后,然后再抽真空时,就只能到E-9torr了。教授说需要再烘烤设备,于是,我就开始了3天连续的烘烤。
  手册上写,烘烤时,达到5E-7torr之后,就可以停止烘烤,然后开ion pump神马的。可是!!!问题出现了~~~~
   按理说,关闭加热之后,真空度应该会继续下降,(第一次的经验也是,关闭加热之后,从E-7很快就会到E-8)。
   可是,真空度却迅速恶化~~~~从E-7在20分钟以内 会恶化到E-3torr,然后再慢慢回落。如果在恶化的途中,再次加热的话,真空度会迅速变好~~~~
   以上~~~
  这到底是什么情况~~~~~~应该不会漏气,因为即使这样子 最后还是会达到E-10torr的~~~

  诸位大神帮帮忙~~~小女子在此先谢过了~~~
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小雨南

银虫 (小有名气)

为何没人回我............
2楼2014-07-15 09:20:29
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白菜胡萝卜

木虫 (正式写手)


这东西说不准的,只要最后能把真空抽好就可以。具体方法只要在原理上是对仪器不产生损伤的就可以。
至于这个原因,有可能是因为腔体内有残余的气体。也有可能是你烘烤的时候不小心烘烤了真空规。不过这都是瞎猜了啦。
3楼2014-08-01 19:15:57
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小雨南

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 白菜胡萝卜 at 2014-08-01 20:15:57
这东西说不准的,只要最后能把真空抽好就可以。具体方法只要在原理上是对仪器不产生损伤的就可以。
至于这个原因,有可能是因为腔体内有残余的气体。也有可能是你烘烤的时候不小心烘烤了真空规。不过这都是瞎猜了啦 ...

不过 最近好像抽不到-10了~~我最近很闹心这个~~~~~
4楼2014-08-01 19:20:15
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seabird055

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

5楼2014-08-02 00:55:24
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wsh8511

金虫 (正式写手)

Baking 的作用是除去腔室里面的水蒸气以及附着在腔室壁上的容易挥发的杂质,这样能能保持腔室的洁净性与较好的真空。

baking之后,在停止加热后要马上进行检漏,检漏的时候挤一点丙酮在打开过的port上面,如果有漏气,真空会明显变差,如果不漏,真空不会变。当确认了每个打开过的port都没有问题后,就放心地让他降温吧,降下去以后真空就好了。

其次,如果baking之后真空还是达不到以前的那么好,说明你baking 的温度可能低了点,没有充分地把杂质除去。

一般来讲,STM的设备baking 之后应该可以达到-10Torr,再好的会达到-11Torr。我们这用的Omron的,可以达到-11torr.
6楼2014-08-04 09:41:32
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小雨南

银虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by wsh8511 at 2014-08-04 10:41:32
Baking 的作用是除去腔室里面的水蒸气以及附着在腔室壁上的容易挥发的杂质,这样能能保持腔室的洁净性与较好的真空。

baking之后,在停止加热后要马上进行检漏,检漏的时候挤一点丙酮在打开过的port上面,如果有 ...

我们还真从来没用丙酮检验过

因为设备是重新组装的~几乎所有port点都是重新安装的~~~~~~~~~

虽然现象很奇怪 但是最终都会到-10torr
奇怪的是在于 停止加热之后 真空度迅速变坏,但是一旦再加热 就会迅速变好~~~~
7楼2014-08-04 09:56:20
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wsh8511

金虫 (正式写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 小雨南 at 2014-08-04 09:56:20
我们还真从来没用丙酮检验过

因为设备是重新组装的~几乎所有port点都是重新安装的~~~~~~~~~

虽然现象很奇怪 但是最终都会到-10torr
奇怪的是在于 停止加热之后 真空度迅速变坏,但是一旦再加热 就会迅速变好 ...

这个现象可能是由于ion gauge的degasing引起的。

不过没有关系,只要冷却以后可以达到-10就可以了。

以后开腔室或者打开port重新装好以后都可以用丙酮或者乙醇检一下漏
8楼2014-08-04 11:14:15
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小雨南

银虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by wsh8511 at 2014-08-04 12:14:15
这个现象可能是由于ion gauge的degasing引起的。

不过没有关系,只要冷却以后可以达到-10就可以了。

以后开腔室或者打开port重新装好以后都可以用丙酮或者乙醇检一下漏...

-7torr左右的时候 乙醇已经检不出来了吧~
我那没有丙酮~~~~~乙醇试过~~不行诶~~~~
9楼2014-08-04 12:31:15
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wsh8511

金虫 (正式写手)

引用回帖:
9楼: Originally posted by 小雨南 at 2014-08-04 12:31:15
-7torr左右的时候 乙醇已经检不出来了吧~
我那没有丙酮~~~~~乙醇试过~~不行诶~~~~...

我发站内信给你了,你看下。
10楼2014-08-04 14:33:14
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