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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助：陶瓷靶裂了还能不能用
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)

[求助] 求助：陶瓷靶裂了还能不能用 已有4人参与

本人做的是CaB6薄膜的磁性。现在有个靶裂了，不知道磁控溅射还能不能用，有什么解决方法啊？
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1楼 2014-07-14 10:36:29
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by cord at 2014-07-15 22:09:49
裂了的靶就不能用了， 小心基底的Cu在溅射中扩散污染整个腔体。

我们不同的人镀不同的膜，这个已经不是那么重要了
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8楼2014-07-16 08:47:13
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dolphin88323

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
靶材裂的原因有很多种  如果是过烧或是致密度不够气孔太多导致  估计是用不了的  因为晶相结构都变了  即使长出来的膜  品质也不会很高  先分析下靶裂的原因
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海纳百川 有容乃大 壁立千仞 无欲则刚
2楼2014-07-14 12:34:50
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by dolphin88323 at 2014-07-14 12:34:50
靶材裂的原因有很多种  如果是过烧或是致密度不够气孔太多导致  估计是用不了的  因为晶相结构都变了  即使长出来的膜  品质也不会很高  先分析下靶裂的原因

是上次溅射的过程中裂的，估计是中间水箱断电了，开了之后，瞬间变冷的原因
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3楼2014-07-14 14:28:45
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dolphin88323

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 静忆hh at 2014-07-14 14:28:45
是上次溅射的过程中裂的，估计是中间水箱断电了，开了之后，瞬间变冷的原因...

噢……那应该还好  你可以溅射下试试  么准有新发现呢  嘿嘿
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海纳百川 有容乃大 壁立千仞 无欲则刚
4楼2014-07-15 09:06:20
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