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静忆hh

铜虫 (初入文坛)

[求助] 求助:陶瓷靶裂了还能不能用 已有4人参与

本人做的是CaB6薄膜的磁性。现在有个靶裂了,不知道磁控溅射还能不能用,有什么解决方法啊?
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by dolphin88323 at 2014-07-14 12:34:50
靶材裂的原因有很多种  如果是过烧或是致密度不够气孔太多导致  估计是用不了的  因为晶相结构都变了  即使长出来的膜  品质也不会很高  先分析下靶裂的原因

是上次溅射的过程中裂的,估计是中间水箱断电了,开了之后,瞬间变冷的原因
3楼2014-07-14 14:28:45
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dolphin88323

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
靶材裂的原因有很多种  如果是过烧或是致密度不够气孔太多导致  估计是用不了的  因为晶相结构都变了  即使长出来的膜  品质也不会很高  先分析下靶裂的原因
海纳百川 有容乃大 壁立千仞 无欲则刚
2楼2014-07-14 12:34:50
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dolphin88323

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 静忆hh at 2014-07-14 14:28:45
是上次溅射的过程中裂的,估计是中间水箱断电了,开了之后,瞬间变冷的原因...

噢……那应该还好  你可以溅射下试试  么准有新发现呢  嘿嘿
海纳百川 有容乃大 壁立千仞 无欲则刚
4楼2014-07-15 09:06:20
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by dolphin88323 at 2014-07-15 09:06:20
噢……那应该还好  你可以溅射下试试  么准有新发现呢  嘿嘿...

担心的是会不会影响薄膜的磁性
5楼2014-07-15 11:54:15
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