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ICP刻蚀驼峰 已有3人参与
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各位好，最近小弟在做ICP刻蚀SiO2，但发现刻蚀出来的图形沟槽里面有驼峰状的结构，本来沟槽里应该是平坦的呀，不知道是什么原因或这是什么现象，望高手指点指点，万分感激！ 我用CHF3和Ar作为刻蚀气体，比例100:20，气压0.2Pa  图像 1.jpg |
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