| 查看: 851 | 回复: 4 | ||
[求助]
ICP刻蚀驼峰 已有3人参与
|
|
各位好，最近小弟在做ICP刻蚀SiO2，但发现刻蚀出来的图形沟槽里面有驼峰状的结构，本来沟槽里应该是平坦的呀，不知道是什么原因或这是什么现象，望高手指点指点，万分感激！ 我用CHF3和Ar作为刻蚀气体，比例100:20，气压0.2Pa  图像 1.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有241人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- ICP刻蚀侧壁陡直度
已经有5人回复
- 【求助】能否用ICP刻蚀把掩膜版图形转移到硅或者GaN上
已经有3人回复
exciting73 
金虫 (著名写手)
- 应助: 110 (高中生)
- 金币: 579.9
- 红花: 20
- 帖子: 1785
- 在线: 272.7小时
- 虫号: 1946276
- 注册: 2012-08-19
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2014-07-10 14:26:59
3楼2014-07-10 15:54:12
senpeng
铜虫 (小有名气)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 169.6
- 帖子: 149
- 在线: 27.2小时
- 虫号: 443434
- 注册: 2007-10-27
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
4楼2014-09-21 10:14:13
spiderman504
金虫 (小有名气)
- MN-EPI: 1
- 应助: 30 (小学生)
- 金币: 1213
- 红花: 1
- 帖子: 147
- 在线: 35小时
- 虫号: 3094198
- 注册: 2014-03-27
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
5楼2014-09-21 10:29:18
20