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duola1024木虫 (小有名气)
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有做SPS的吗，请教一个很简单的问题 已有3人参与
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| 前一阵用SPS做了个pld用的靶，烧的氧化物陶瓷，之后对靶表面做元素分析（SEM的EDX）发现F元素的原子比率超过了20%。表面有C也就罢了，用的石墨模具表面肯定有渗碳，但是F是哪来的？难道是磨具是用氟化物粘结的石墨？还是做SPS的时候会用某种含F的试剂处理粉末？ |
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