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北溟之鱼

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[求助] 电子束蒸镀Cr膜遇到的问题已有1人参与

在GaN表面，用电子束蒸镀Cr膜，厚度约为100 nm，镀的膜有些地方像是起皮了，一碰就掉下来（像是粉末），请问可能是哪方面的问题？

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1楼 2014-06-17 16:57:07

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peterflyer

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peterflyer

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【答案】应助回帖

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北溟之鱼: 金币+5 2014-06-23 15:25:58

这说明Cr和GaN表面不润湿，结合力不强；另外两者的热膨胀系数相差较大，两者的结合不太容易。

2楼2014-06-18 09:58:45

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