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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助光学曝光工艺，详细的，最后必须很好的剥离
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文盲森森

新虫 (正式写手)

[求助] 求助光学曝光工艺，详细的，最后必须很好的剥离 已有3人参与

本人在剥离光刻胶时遇到了难题，实验室用的是苏州瑞红的RFJ—220负性光刻胶，剥离液是瑞红RBL—2304，请问应该在匀胶机上选用多少转数，在热板上用多少度加热多长时间，曝光时间多长适宜（我目前用110度90秒4000转每分曝光七秒），然后在显影定影后的基片上至少镀上多厚的镀层，最后也是最让我头疼的，如何去胶，网上有人说先将剥离液加热到120度再自然冷却到80恒温剥离，但是却没有说明时间，而且我在这个温度下剥离的也不太干净，现在只好求好心人大发慈悲不吝赐教

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1楼 2014-05-30 20:48:57
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spiderman504

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
转速是根据你的胶厚确定的（胶厚又是根据你的选择比来定的，胶厚：金属层，胶厚是一定要大于金属层厚度的。）。
热板传热还比较快，但说明书上的温度不是实际烘烤时的温度，额个人经验，实验时应该在原来基础上加个20度，时间加上20s
,曝光量量也加个20mJ/cm2.显影时间加30s左右，以显影干净为准。（一定要不停晃动片子，不然胶虽然溶解了但始终在片子中央散不开，还会影响你的线宽。完后去离子水冲洗，N2吹干。）。
可先拿个片子不蒸镀金属，试一试，看显影效果怎么样？
用剥离液剥离是需要加热的，没错。如果嫌麻烦不妨试试先丙酮后乙醇超声，完后去离子水，N2吹干（只要你片子干净，显影干净，蒸镀金属质量好（先慢再快），你会发现强力吹风十分给力，金属哗哗往下掉）。超声时间不好说，与你的片子表面处理有关，选择比有关。一般的各20分钟就差不多了，长的就30分钟以上了。
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2楼2014-05-31 08:43:27
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文盲森森

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by spiderman504 at 2014-05-31 08:43:27
转速是根据你的胶厚确定的（胶厚又是根据你的选择比来定的，胶厚：金属层，胶厚是一定要大于金属层厚度的。）。
热板传热还比较快，但说明书上的温度不是实际烘烤时的温度，额个人经验，实验时应该在原来基础上加个 ...

好心人可以说的更详细些吗，比如热板用的多少度，烘烤时间多久，实验室用的上海学泽光刻机，只能设置时间，所以请好心人推荐一个曝光时间，我目前用的显影时间是120秒，现在要改为150秒吗，我用的是负胶，如果不用RBL2304，现在改用丙酮的话应该在多少度泡多久，完后再泡在乙醇里面超声20到30分钟吗

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3楼2014-05-31 09:05:19
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spiderman504

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 文盲森森 at 2014-05-31 09:05:19
好心人可以说的更详细些吗，比如热板用的多少度，烘烤时间多久，实验室用的上海学泽光刻机，只能设置时间，所以请好心人推荐一个曝光时间，我目前用的显影时间是120秒，现在要改为150秒吗，我用的是负胶，如果不用 ...

首先声明，这个胶我没用过，但瑞红的RZJ-304正胶我试过。这个胶的胶厚比较薄，看你们买的胶的黏度选择合适的转速。热板你先130度/110s，曝光量设个60mJ/cm2(你应该是先测实际光强，在设的时间吧，所以时间我不知道。记得实验前光刻机先开半小时预热。)后烘条件可以不用改，显影时间真的不好说，灵活把握，甚至与你摇晃力度大小有关，总之不断用镊子拨动片子，直到没有明显的胶附着为止，然后去离子水和N2伺候。剥离的时候，常温用丙酮也是要超声的，你可以先超15分钟丙酮，在15分钟乙醇。肉眼很明显还有大片金属的话，那就继续加长时间丙酮和乙醇超声。
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4楼2014-05-31 10:10:23
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奔向阳光

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我师兄使用电脑的光雕进行雕刻的呢
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5楼2014-05-31 21:52:25
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happy3236

银虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 奔向阳光 at 2014-05-31 21:52:25
我师兄使用电脑的光雕进行雕刻的呢

请问什么叫电脑的光雕？
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6楼2014-06-01 16:33:08
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静

【答案】应助回帖

这个厂家不是有标准工艺的吗？
转数也是根据你的你要做的图形的厚度决定的，一般做剥离有专门的胶，比如AZ5214就是实验室比较常用的做剥离工艺的胶之一，我们这边都是用这种。
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15501697107
7楼2014-06-03 12:33:08
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罗军王

银虫 (初入文坛)
内容已删除
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多看多读多学习
8楼2014-10-08 17:13:17
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spiderman504

金虫 (小有名气)
内容已删除
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9楼2014-10-08 22:56:06
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willyion6688

木虫 (正式写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by spiderman504 at 2014-10-08 22:56:06
真逗，你不叫罗军王，我怎么加你？...

看了你的，指点感觉有用，能否给个好友。有事可以讨论下，
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peoplewillalwaysfollowtheheartmuchmorereadilythantheywillfolloworders
10楼2016-03-30 17:31:37
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