| 查看: 2799 | 回复: 9 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
文盲森森新虫 (正式写手)
|
[求助]
求助光学曝光工艺，详细的，最后必须很好的剥离 已有3人参与
|
||
|
本人在剥离光刻胶时遇到了难题，实验室用的是苏州瑞红的RFJ—220负性光刻胶，剥离液是瑞红RBL—2304，请问应该在匀胶机上选用多少转数，在热板上用多少度加热多长时间，曝光时间多长适宜（我目前用110度90秒4000转每分曝光七秒），然后在显影定影后的基片上至少镀上多厚的镀层，最后也是最让我头疼的，如何去胶，网上有人说先将剥离液加热到120度再自然冷却到80恒温剥离，但是却没有说明时间，而且我在这个温度下剥离的也不太干净，现在只好求好心人大发慈悲不吝赐教 [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ] |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 导电物 |
» 猜你喜欢
济南大学国家优青课题组 2026 调剂招生来啦
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高发展好-欢迎各位同学
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有74人回复
-
西华大学 化学 调剂有名额
已经有0人回复
-
上海应用技术大学招生调剂研究生
已经有7人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
北方工业大学储能技术-02电化学储能与氢能方向招收2026级二次调剂学生
已经有0人回复
5楼2014-05-31 21:52:25
spiderman504
金虫 (小有名气)
- MN-EPI: 1
- 应助: 30 (小学生)
- 金币: 1213
- 红花: 1
- 帖子: 147
- 在线: 35小时
- 虫号: 3094198
- 注册: 2014-03-27
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
|
转速是根据你的胶厚确定的（胶厚又是根据你的选择比来定的，胶厚：金属层，胶厚是一定要大于金属层厚度的。）。 热板传热还比较快，但说明书上的温度不是实际烘烤时的温度，额个人经验，实验时应该在原来基础上加个20度，时间加上20s ,曝光量量也加个20mJ/cm2.显影时间加30s左右，以显影干净为准。（一定要不停晃动片子，不然胶虽然溶解了但始终在片子中央散不开，还会影响你的线宽。完后去离子水冲洗，N2吹干。）。 可先拿个片子不蒸镀金属，试一试，看显影效果怎么样？ 用剥离液剥离是需要加热的，没错。如果嫌麻烦不妨试试先丙酮后乙醇超声，完后去离子水，N2吹干（只要你片子干净，显影干净，蒸镀金属质量好（先慢再快），你会发现强力吹风十分给力，金属哗哗往下掉）。超声时间不好说，与你的片子表面处理有关，选择比有关。一般的各20分钟就差不多了，长的就30分钟以上了。 |
2楼2014-05-31 08:43:27
文盲森森
新虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2855.3
- 散金: 100
- 红花: 1
- 帖子: 589
- 在线: 45.2小时
- 虫号: 2091672
- 注册: 2012-10-28
- 专业: 力学中的基本问题和方法
3楼2014-05-31 09:05:19
spiderman504
金虫 (小有名气)
- MN-EPI: 1
- 应助: 30 (小学生)
- 金币: 1213
- 红花: 1
- 帖子: 147
- 在线: 35小时
- 虫号: 3094198
- 注册: 2014-03-27
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
4楼2014-05-31 10:10:23
