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xbin5090083金虫 (著名写手)
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[求助]
4%Li掺杂ZnO靶材用磁控，测不出电阻率，大神帮忙啊！
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| 我用4%Li掺杂ZnO靶材，采用磁控溅射法制备ZnO薄膜，发现制备出的样品用四方针探测仪侧不出电阻，薄膜表面用肉眼看很脏，靶材颜色属于白色。溅射完的靶材表面部分有水印和中间有一圈黑黑的物质。请问下做过这方面的大神，是哪些原因造成的？ |
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