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离子注入的最低注入能量是多少
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请问做过离子注入和了解的虫虫们，离子注入的最低能量是多少。 在中科院半导体所的离子注入机介绍上有这样一句话，“其能量在15keV–600keV范围内连续可调，”，意思是最低注入能量是15keV吗？ 我的预期是可以做到2.5或者3keV的常规离子注入，请问国内有什么地方可以做呢？ 谢谢参与回答的各位，撒花撒花 .........金币不多，有的都供出来啦...... |
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