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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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素素明天

新虫 (初入文坛)

[求助] 离子注入的最低注入能量是多少

请问做过离子注入和了解的虫虫们,离子注入的最低能量是多少。
    在中科院半导体所的离子注入机介绍上有这样一句话,“其能量在15keV–600keV范围内连续可调,”,意思是最低注入能量是15keV吗?
    我的预期是可以做到2.5或者3keV的常规离子注入,请问国内有什么地方可以做呢?
    谢谢参与回答的各位,撒花撒花  .........金币不多,有的都供出来啦......
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素素明天

新虫 (初入文坛)

自己回复了,算给后来的人一个参考吧;低能离子注入能做的不多,知道一个地方,是中科院微电子所,给做最低3KeV的,具体可以再官网上找到,电话联系然后预约,不过价格可能偏高。
4楼2014-05-27 10:31:12
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