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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 化工设备 » 设备操作技术 » 离子注入的最低注入能量是多少
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素素明天

新虫 (初入文坛)

[求助] 离子注入的最低注入能量是多少

请问做过离子注入和了解的虫虫们，离子注入的最低能量是多少。
    在中科院半导体所的离子注入机介绍上有这样一句话，“其能量在15keV–600keV范围内连续可调，”，意思是最低注入能量是15keV吗？
    我的预期是可以做到2.5或者3keV的常规离子注入，请问国内有什么地方可以做呢？
    谢谢参与回答的各位，撒花撒花  .........金币不多，有的都供出来啦......
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1楼 2014-05-22 15:44:22
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素素明天

新虫 (初入文坛)
自己回复了，算给后来的人一个参考吧；低能离子注入能做的不多，知道一个地方，是中科院微电子所，给做最低3KeV的，具体可以再官网上找到，电话联系然后预约，不过价格可能偏高。
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4楼2014-05-27 10:31:12
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