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cnxhw

木虫 (小有名气)

[求助] 离子注入薄膜后,RTA温度和时间如何计算?

比如离子注入Si到15nm的薄膜,7Kev的能量,1e14的剂量,如何确定RTA的退火时间和温度??
多谢指教!
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zjuking

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
cnxhw: 金币+3, ★★★很有帮助 2012-03-16 10:15:12
cnxhw: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-03-18 14:20:54
要看profile,直接用tcad仿真就可以了;是在想知道怎么算,去看tcad的mannual,里面有RTA的model
2楼2012-03-15 21:06:06
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cnxhw

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zjuking at 2012-03-15 21:06:06:
要看profile,直接用tcad仿真就可以了;是在想知道怎么算,去看tcad的mannual,里面有RTA的model

谢了,我自己找找看。
3楼2012-03-16 10:14:50
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xuwenqing000

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zjuking at 2012-03-15 21:06:06
要看profile,直接用tcad仿真就可以了;是在想知道怎么算,去看tcad的mannual,里面有RTA的model

请问你是说的Silvaco TCAD么?
4楼2012-10-18 10:09:01
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