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离子注入薄膜后，RTA温度和时间如何计算？
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比如离子注入Si到15nm的薄膜，7Kev的能量，1e14的剂量，如何确定RTA的退火时间和温度？？ 多谢指教! |
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xuwenqing000
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4楼2012-10-18 10:09:01