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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 如何才能使硅片表面疏水？（30金币赠送）
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
硅片表面本来就是疏水的，亲。    硅片表现出亲水性是因为硅片表面拿出真空包装后，会与空气中的氧气发生反应，形成一层比较薄的氧化层，但是氧化层是疏松不致密的，厚度很小，SIO2表现出亲水性，一般我们用HF去掉SIO2。
露出硅层，这个一般现做现用，因为时间久了，又会有反应哦~
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15501697107
21楼2014-05-18 15:21:07
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greater12345

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
进行纳米压印，将硅片表面压印成一些特定形态，可以达到疏水效果。。。
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22楼2014-05-18 16:02:16
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guobingyuan

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用食人鱼洗液会使表面活化，亲水性增强，而不是疏水性增强。不了解你的目的是什么，你可以先用食人鱼洗液处理硅晶片，之后修饰上疏水性的硅烷就好了。
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黎明之前天最黑
23楼2014-05-18 16:04:02
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
17楼: Originally posted by kevin_yuan at 2014-05-17 16:23:04
多谢指导。

我把我从网上查到的理解的资料说一下，您看下是否有理解错误的地方。

先是清洗硅片，一般是去油脂（丙酮，乙醇，去离子水超声10min），双氧水+硫酸 加热浸泡去除有机物，使其羟基化，然后再使用偶 ...

在浸泡偶联剂之前，一定要烘干。偶联剂可以烘干，也可以阴干，不要吹干，容易使表面不均匀，环境不好还容易粘污。
你的这个偶联剂我没用过，不了解。以前看资料，某些硅片增粘剂也是氧基硅烷成分的，应该可以用。但是配比什么的，我就彻底不知道了。
用偶联剂的表面改性，实际上相当于在硅片表面覆盖了极其薄的薄膜，当重新清洗硅片后，就不存在了，所以要重新做疏水处理。
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24楼2014-05-20 19:22:22
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眼镜片1

银虫 (著名写手)
引用回帖:
24楼: Originally posted by yswyx at 2014-05-20 19:22:22
在浸泡偶联剂之前，一定要烘干。偶联剂可以烘干，也可以阴干，不要吹干，容易使表面不均匀，环境不好还容易粘污。
你的这个偶联剂我没用过，不了解。以前看资料，某些硅片增粘剂也是氧基硅烷成分的，应该可以用。 ...

如果接枝上去的话 不会清洗掉的 只会磨损过程中掉  能清洗掉的 不是接枝上去了 只是物理吸附上去    接枝的过程工艺很关键  做微机电系统的对这个可能不一定很精通
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25楼2014-05-21 07:54:57
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
25楼: Originally posted by 眼镜片1 at 2014-05-21 07:54:57
如果接枝上去的话 不会清洗掉的 只会磨损过程中掉  能清洗掉的 不是接枝上去了 只是物理吸附上去    接枝的过程工艺很关键  做微机电系统的对这个可能不一定很精通...

接枝的能抗得住浓硫酸？
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26楼2014-05-21 14:59:19
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

这个不复杂，清洁的硅表面本身就是疏水的，并且疏水性很好
你只要将硅片表面彻底清洁，然后用稀氢氟酸除掉表面的氧化层，保证疏水性良好
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宁毁千座庙不坏一桩姻！
27楼2014-05-21 22:40:27
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西塔小西西

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
28楼2014-08-07 15:11:00
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sailorbobo

木虫 (小有名气)
引用回帖:
27楼: Originally posted by hongliushu03 at 2014-05-21 22:40:27
这个不复杂，清洁的硅表面本身就是疏水的，并且疏水性很好
你只要将硅片表面彻底清洁，然后用稀氢氟酸除掉表面的氧化层，保证疏水性良好

回头试试
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29楼2014-08-13 14:14:36
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svic3303

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

含氟的硅烷偶联剂，具体的你可以参考我公司的一些产品信息。百度查武汉赛沃尔化工有限公司。全氟癸基三乙（三甲）氧基硅烷等产品
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30楼2015-04-16 17:58:42
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