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kevin_yuan

银虫 (初入文坛)

[求助] 如何才能使硅片表面疏水?(30金币赠送) 已有15人参与

机械电子专业,现在用到硅片。想要硅片表面能够疏水。看别人的说法是氢氟酸浸泡下就可以,可是借了别人实验室试了,发现效果还是很差,接触角还是很小。我想问问各位专家,如何才能让硅片表面疏水?是用浓硫酸+双氧水浸泡,然后再用硅烷偶联试剂浸泡么?具体步骤是什么,该用什么偶联剂?

完全不是这个领域的,所以不了解,请各位帮忙,越详细越好,30金币奉上。
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
17楼: Originally posted by kevin_yuan at 2014-05-17 16:23:04
多谢指导。

我把我从网上查到的理解的资料说一下,您看下是否有理解错误的地方。

先是清洗硅片,一般是去油脂(丙酮,乙醇,去离子水超声10min),双氧水+硫酸 加热浸泡去除有机物,使其羟基化,然后再使用偶 ...

在浸泡偶联剂之前,一定要烘干。偶联剂可以烘干,也可以阴干,不要吹干,容易使表面不均匀,环境不好还容易粘污。
你的这个偶联剂我没用过,不了解。以前看资料,某些硅片增粘剂也是氧基硅烷成分的,应该可以用。但是配比什么的,我就彻底不知道了。
用偶联剂的表面改性,实际上相当于在硅片表面覆盖了极其薄的薄膜,当重新清洗硅片后,就不存在了,所以要重新做疏水处理。
24楼2014-05-20 19:22:22
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查看全部 33 个回答

flowdi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
写错了吧,看起来完全不像疏水。
2楼2014-05-16 21:01:22
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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
简单点应该用HF处理就可以。你用HF处理之后还有哪些步骤?HF处理之后多长时间使用的?
3楼2014-05-16 21:40:52
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
要想硅表面疏水,首先表面粗糙度数值要尽可能的低,也就是尽可能的光滑;其次是表面进行疏水处理。
硅​片​表​面​处​理​方​法​和​步​骤
http://wenku.baidu.com/link?url= ... w1jvmSVBB_1gnENAaHi
常用硅表面疏水性处理
http://muchong.com/html/201210/5040956.html
4楼2014-05-17 09:22:43
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