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kevin_yuan

银虫 (初入文坛)

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[求助] 如何才能使硅片表面疏水？（30金币赠送）已有15人参与

机械电子专业，现在用到硅片。想要硅片表面能够疏水。看别人的说法是氢氟酸浸泡下就可以，可是借了别人实验室试了，发现效果还是很差，接触角还是很小。我想问问各位专家，如何才能让硅片表面疏水？是用浓硫酸+双氧水浸泡，然后再用硅烷偶联试剂浸泡么？具体步骤是什么，该用什么偶联剂？

完全不是这个领域的，所以不了解，请各位帮忙，越详细越好，30金币奉上。

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@静静一yi

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1楼 2014-05-16 19:39:42

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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

要想硅表面疏水，首先表面粗糙度数值要尽可能的低，也就是尽可能的光滑；其次是表面进行疏水处理。
硅片表面处理方法和步骤
http://wenku.baidu.com/link?url= ... w1jvmSVBB_1gnENAaHi
常用硅表面疏水性处理
http://muchong.com/html/201210/5040956.html