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kevin_yuan

银虫 (初入文坛)

[求助] 如何才能使硅片表面疏水?(30金币赠送) 已有15人参与

机械电子专业,现在用到硅片。想要硅片表面能够疏水。看别人的说法是氢氟酸浸泡下就可以,可是借了别人实验室试了,发现效果还是很差,接触角还是很小。我想问问各位专家,如何才能让硅片表面疏水?是用浓硫酸+双氧水浸泡,然后再用硅烷偶联试剂浸泡么?具体步骤是什么,该用什么偶联剂?

完全不是这个领域的,所以不了解,请各位帮忙,越详细越好,30金币奉上。
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kevin_yuan

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
15楼: Originally posted by yswyx at 2014-05-17 16:07:26
你买回来的硅片表面本身就是纳米级的粗糙度。国产硅片Ra是1~2nm,进口硅片一般是小于1nm。
单晶硅本身是疏水的,但是会有原生氧化层,所以会表现的亲水。用HF腐蚀掉原生氧化层,会表现出一定的疏水,但是在空气中 ...

多谢指导。

我把我从网上查到的理解的资料说一下,您看下是否有理解错误的地方。

先是清洗硅片,一般是去油脂(丙酮,乙醇,去离子水超声10min),双氧水+硫酸 加热浸泡去除有机物,使其羟基化,然后再使用偶联剂的醇溶液,浸泡,烘干(我没有烘干设备,氮气吹能替代么)?

另外,我买的偶联剂是16烷基三甲氧基硅烷,这个能不能用,一般和乙醇的配比是多少?

还有一个,如果获得了疏水表面,相当于给硅片表面改性了,是不是下次用只要按照清洗程序清洗硅片就行了,不用再做一次疏水处理了?

非常感谢您的帮助
17楼2014-05-17 16:23:04
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查看全部 33 个回答

flowdi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
写错了吧,看起来完全不像疏水。
2楼2014-05-16 21:01:22
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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
简单点应该用HF处理就可以。你用HF处理之后还有哪些步骤?HF处理之后多长时间使用的?
3楼2014-05-16 21:40:52
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
要想硅表面疏水,首先表面粗糙度数值要尽可能的低,也就是尽可能的光滑;其次是表面进行疏水处理。
硅​片​表​面​处​理​方​法​和​步​骤
http://wenku.baidu.com/link?url= ... w1jvmSVBB_1gnENAaHi
常用硅表面疏水性处理
http://muchong.com/html/201210/5040956.html
4楼2014-05-17 09:22:43
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