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kevin_yuan银虫 (初入文坛)
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[求助]
如何才能使硅片表面疏水？（30金币赠送） 已有15人参与
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机械电子专业，现在用到硅片。想要硅片表面能够疏水。看别人的说法是氢氟酸浸泡下就可以，可是借了别人实验室试了，发现效果还是很差，接触角还是很小。我想问问各位专家，如何才能让硅片表面疏水？是用浓硫酸+双氧水浸泡，然后再用硅烷偶联试剂浸泡么？具体步骤是什么，该用什么偶联剂？ 完全不是这个领域的，所以不了解，请各位帮忙，越详细越好，30金币奉上。 |
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yswyx 
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【答案】应助回帖
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你买回来的硅片表面本身就是纳米级的粗糙度。国产硅片Ra是1~2nm，进口硅片一般是小于1nm。 单晶硅本身是疏水的，但是会有原生氧化层，所以会表现的亲水。用HF腐蚀掉原生氧化层，会表现出一定的疏水，但是在空气中一暴露会迅速产生原生氧化层，变的亲水。所以泡完HF最好立即使用。 当然，我们还有很多的方法让硅片表面疏水，比如镀各种疏水薄膜。镀膜会有一定的厚度，那么很多情况下大家不愿意用，所以还会有很多别的方法，比如表面处理。偶联剂是一种常用的方法，在半导体领域，有非常常用和便宜的偶联剂，HMDS，浸泡，涂敷，熏蒸，都可以达到目的。plasma表面钝化处理也是常用的方法，形成碳基的钝化层，类似特富龙，疏水性很好。表面处理形成的薄膜会非常薄，都是纳米水平的。 |
15楼2014-05-17 16:07:26
2楼2014-05-16 21:01:22
exciting73
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3楼2014-05-16 21:40:52
peterflyer
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要想硅表面疏水，首先表面粗糙度数值要尽可能的低，也就是尽可能的光滑；其次是表面进行疏水处理。 硅片表面处理方法和步骤 http://wenku.baidu.com/link?url= ... w1jvmSVBB_1gnENAaHi 常用硅表面疏水性处理 http://muchong.com/html/201210/5040956.html |
4楼2014-05-17 09:22:43