| 查看: 6112 | 回复: 32 | ||||
|
11楼2014-05-17 15:20:15
|
|
|||
kevin_yuan银虫 (初入文坛)
|
||||
|
12楼2014-05-17 15:24:31
|
|
|||
kevin_yuan银虫 (初入文坛)
|
||||
|
13楼2014-05-17 15:25:29
|
|
|||
kevin_yuan银虫 (初入文坛)
|
||||
|
14楼2014-05-17 15:34:23
|
|
|||
yswyx
|
回复此楼
 |
专家经验: +651 |
【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
|
你买回来的硅片表面本身就是纳米级的粗糙度。国产硅片Ra是1~2nm，进口硅片一般是小于1nm。 单晶硅本身是疏水的，但是会有原生氧化层，所以会表现的亲水。用HF腐蚀掉原生氧化层，会表现出一定的疏水，但是在空气中一暴露会迅速产生原生氧化层，变的亲水。所以泡完HF最好立即使用。 当然，我们还有很多的方法让硅片表面疏水，比如镀各种疏水薄膜。镀膜会有一定的厚度，那么很多情况下大家不愿意用，所以还会有很多别的方法，比如表面处理。偶联剂是一种常用的方法，在半导体领域，有非常常用和便宜的偶联剂，HMDS，浸泡，涂敷，熏蒸，都可以达到目的。plasma表面钝化处理也是常用的方法，形成碳基的钝化层，类似特富龙，疏水性很好。表面处理形成的薄膜会非常薄，都是纳米水平的。 |
15楼2014-05-17 16:07:26
16楼2014-05-17 16:15:52
kevin_yuan
银虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 104.8
- 散金: 10
- 帖子: 37
- 在线: 38.9小时
- 虫号: 829307
- 注册: 2009-08-17
- 专业: 微/纳机械系统
17楼2014-05-17 16:23:04
ledlau
木虫 (著名写手)
- 应助: 24 (小学生)
- 金币: 4066.4
- 散金: 110
- 红花: 11
- 帖子: 1463
- 在线: 331.1小时
- 虫号: 1278255
- 注册: 2011-04-26
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
18楼2014-05-17 20:13:19
般木
铁杆木虫 (著名写手)
我是傻子
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 6950.6
- 散金: 10
- 红花: 2
- 帖子: 1647
- 在线: 867.4小时
- 虫号: 1016356
- 注册: 2010-05-11
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
19楼2014-05-17 21:48:20
spiderman504
金虫 (小有名气)
- MN-EPI: 1
- 应助: 30 (小学生)
- 金币: 1213
- 红花: 1
- 帖子: 147
- 在线: 35小时
- 虫号: 3094198
- 注册: 2014-03-27
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
20楼2014-05-18 14:53:42
