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11楼2014-05-17 15:20:15
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kevin_yuan银虫 (初入文坛)
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12楼2014-05-17 15:24:31
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kevin_yuan银虫 (初入文坛)
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13楼2014-05-17 15:25:29
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kevin_yuan银虫 (初入文坛)
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14楼2014-05-17 15:34:23
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yswyx
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回复此楼
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【答案】应助回帖
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你买回来的硅片表面本身就是纳米级的粗糙度。国产硅片Ra是1~2nm，进口硅片一般是小于1nm。 单晶硅本身是疏水的，但是会有原生氧化层，所以会表现的亲水。用HF腐蚀掉原生氧化层，会表现出一定的疏水，但是在空气中一暴露会迅速产生原生氧化层，变的亲水。所以泡完HF最好立即使用。 当然，我们还有很多的方法让硅片表面疏水，比如镀各种疏水薄膜。镀膜会有一定的厚度，那么很多情况下大家不愿意用，所以还会有很多别的方法，比如表面处理。偶联剂是一种常用的方法，在半导体领域，有非常常用和便宜的偶联剂，HMDS，浸泡，涂敷，熏蒸，都可以达到目的。plasma表面钝化处理也是常用的方法，形成碳基的钝化层，类似特富龙，疏水性很好。表面处理形成的薄膜会非常薄，都是纳米水平的。 |
15楼2014-05-17 16:07:26
16楼2014-05-17 16:15:52
kevin_yuan
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17楼2014-05-17 16:23:04
ledlau
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18楼2014-05-17 20:13:19
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19楼2014-05-17 21:48:20
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20楼2014-05-18 14:53:42