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firstlaker

金虫 (正式写手)

[求助] 台阶仪测试的问题

我想问下一个台阶仪测试的数据的问题,Vecoo 台阶仪,后面测量膜厚时,有verticle distance 和 ASM 两个值,这两个值有时差别很小,有时差别却比较大,分别代表什么意义,请问表片膜厚的话,采用哪个值准确一些?
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