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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 重大装备 » 喷金用的离子溅射仪有没有工业级的？
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qint

木虫 (正式写手)

[交流] 喷金用的离子溅射仪有没有工业级的？ 已有2人参与

想用离子溅射仪做薄膜样品，但都是小尺寸的，最大也就200mm了。有没有更大型的？400mm左右腔体的？

看了很多，发现一种多弧离子溅射设备很大，但好像原理不同，不敢去试。。。
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1楼 2014-04-29 18:46:26
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★
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现在的磁控溅射有大量工业级的应用。
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2楼2014-04-29 20:31:40
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qint

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-04-29 20:31:40
现在的磁控溅射有大量工业级的应用。

我想问的是“离子溅射”有没有工业级的？就是给电镜样品喷金用的那种。。。谢谢了。。。
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3楼2014-04-29 22:59:49
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yangzhongqin

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by qint at 2014-04-29 22:59:49
我想问的是“离子溅射”有没有工业级的？就是给电镜样品喷金用的那种。。。谢谢了。。。...

有的，根据实验需要选择低真空和高真空的
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4楼2014-06-20 16:11:41
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