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qint

木虫 (正式写手)

[交流] 喷金用的离子溅射仪有没有工业级的? 已有2人参与

想用离子溅射仪做薄膜样品,但都是小尺寸的,最大也就200mm了。有没有更大型的?400mm左右腔体的?

看了很多,发现一种多弧离子溅射设备很大,但好像原理不同,不敢去试。。。
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
现在的磁控溅射有大量工业级的应用。
2楼2014-04-29 20:31:40
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qint

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-04-29 20:31:40
现在的磁控溅射有大量工业级的应用。

我想问的是“离子溅射”有没有工业级的?就是给电镜样品喷金用的那种。。。谢谢了。。。
3楼2014-04-29 22:59:49
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yangzhongqin

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by qint at 2014-04-29 22:59:49
我想问的是“离子溅射”有没有工业级的?就是给电镜样品喷金用的那种。。。谢谢了。。。...

有的,根据实验需要选择低真空和高真空的
4楼2014-06-20 16:11:41
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