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喷金用的离子溅射仪有没有工业级的?
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喷金用的离子溅射仪有没有工业级的?
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想用离子溅射仪做薄膜样品,但都是小尺寸的,最大也就200mm了。有没有更大型的?400mm左右腔体的?
看了很多,发现一种多弧离子溅射设备很大,但好像原理不同,不敢去试。。。
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2014-04-29 18:46:26
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现在的磁控溅射有大量工业级的应用。
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2014-04-29 20:31:40
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2楼
:
Originally posted by
peterflyer
at 2014-04-29 20:31:40
现在的磁控溅射有大量工业级的应用。
我想问的是“离子溅射”有没有工业级的?就是给电镜样品喷金用的那种。。。谢谢了。。。
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2014-04-29 22:59:49
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3楼
:
Originally posted by
qint
at 2014-04-29 22:59:49
我想问的是“离子溅射”有没有工业级的?就是给电镜样品喷金用的那种。。。谢谢了。。。...
有的,根据实验需要选择低真空和高真空的
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4楼
2014-06-20 16:11:41
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