| 查看: 1870 | 回复: 6 | ||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||
[求助]
有没有溅射过IGZO靶材的 TFT方向已有2人参与
|
||||
| 我最近在长有一层氮化硅的硅片上溅射IGZO，然后再蒸镀一层铝电极，因为氮化硅硅片是成品，所以想通过这种方式，测试一下什么样的条件下，溅射的IGZO薄膜最好，才开始在不掺氧的情况下，功率30，40W，溅射时间半个小时的时候，有一丁点的效果，但是开启电流大，且关不断，最后趋于平行的直线，其他溅射时间长的都直接是直线。然后就想着掺氧，Ar:O2为3：1，10：1，时，都开不了，电流很小，就想着少掺些，然后查文献，设功率为50W，真空度为0.5帕，Ar:O2为30：1，发现溅射时间40分钟的时候有些效果，而且比没有掺氧的效果要好一下，但是也有点关不断。就想着再多溅射一会，然后又溅射了两个片子，分别为60min,和80min，测试效果竟然都是直线，没有一丁点场效应，为什么会这样？到底是什么原因，一直长不好呢？溅射氧化锌的时候，有场效应。溅射IGZO，怎么才能溅射好呢？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射靶材资料大全 | 半导体技术 |
» 猜你喜欢
二苯甲酮亚胺的合成
已经有1人回复
-
聚左旋乳酸的作用与机制：从胶原再生到组织修复
已经有0人回复
-
有机高分子材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有190人回复
-
可生物降解聚酯聚己内酯的性能分析与发展趋势
已经有0人回复
-
带膜支架的膜和支架之间的结合力如何测试
已经有2人回复
-
西交利物浦大学奖学金博士招生（生物传感或机器学习方向）
已经有1人回复
-
南方科技大学招收金属材料方向博士生
已经有23人回复
-
可降解聚酯材料在医疗器械中的应用趋势与创新方向
已经有0人回复
-
可降解微球如何提升药物精准治疗效果
已经有0人回复
-
静电纺丝膜分层问题
已经有0人回复
-
什么脱膜剂可以完全清洗干净啊？
已经有2人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 深平板显示行业协会孙政民呼吁尽快攻克ITO靶材的制备技术
已经有6人回复
- 高密度 （相对密度大于99%）IGZO靶材的 理论密度是多少？
已经有5人回复
3楼2014-06-19 10:11:16
1066433383
银虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 414.3
- 散金: 20
- 帖子: 188
- 在线: 12.2小时
- 虫号: 1821614
- 注册: 2012-05-16
- 性别: MM
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
2楼2014-06-03 10:47:08
1066433383
银虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 414.3
- 散金: 20
- 帖子: 188
- 在线: 12.2小时
- 虫号: 1821614
- 注册: 2012-05-16
- 性别: MM
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2014-08-28 09:51:05
5楼2015-12-29 10:05:46