应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 经验交流 » 有没有溅射过IGZO靶材的 TFT方向
71/1返回列表
查看: 2269  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

小珠珠alone

新虫 (初入文坛)

[求助] 有没有溅射过IGZO靶材的 TFT方向 已有2人参与

我最近在长有一层氮化硅的硅片上溅射IGZO，然后再蒸镀一层铝电极，因为氮化硅硅片是成品，所以想通过这种方式，测试一下什么样的条件下，溅射的IGZO薄膜最好，才开始在不掺氧的情况下，功率30，40W，溅射时间半个小时的时候，有一丁点的效果，但是开启电流大，且关不断，最后趋于平行的直线，其他溅射时间长的都直接是直线。然后就想着掺氧，Ar:O2为3：1，10：1，时，都开不了，电流很小，就想着少掺些，然后查文献，设功率为50W，真空度为0.5帕，Ar:O2为30：1，发现溅射时间40分钟的时候有些效果，而且比没有掺氧的效果要好一下，但是也有点关不断。就想着再多溅射一会，然后又溅射了两个片子，分别为60min,和80min，测试效果竟然都是直线，没有一丁点场效应，为什么会这样？到底是什么原因，一直长不好呢？溅射氧化锌的时候，有场效应。溅射IGZO，怎么才能溅射好呢？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全 半导体技术

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-04-14 21:05:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

1066433383

银虫 (小有名气)
★
xiaoxususy: 金币+1, 谢谢参与 2014-06-03 15:08:51
你的靶材原子比例是多少？
赞一下 回复此楼
好好做我自己
2楼2014-06-03 10:47:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ssfantasy

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

调节下不同O2组分比例和不同power的条件，测试一下IV特性和薄厚~~~应该就能出结果了~
赞一下(1人) 回复此楼
挣点钱真不容易
3楼2014-06-19 10:11:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

1066433383

银虫 (小有名气)
想麻烦你一下  有没有关于IGZO的综述性文献（最好是英文的）可以推荐下  谢谢
赞一下 回复此楼
好好做我自己
4楼2014-08-28 09:51:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jiangcs02

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

不要在氮化硅的薄膜上生长IGZO，SiNx中含有H元素，通过后续的制程工艺和相应的Anneal工艺，会扩散到IGZO中，导致半导体特性的失效。即便器件开始有半导体特性，随着时间的推移，性能也会恶化。尤其是BTS特性和Hysteresis。
一般选用PECVD沉积的SiOx的薄膜作为GI的选择材料。
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2015-12-29 10:05:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Mr.Wang

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by jiangcs02 at 2015-12-29 10:05:46
不要在氮化硅的薄膜上生长IGZO，SiNx中含有H元素，通过后续的制程工艺和相应的Anneal工艺，会扩散到IGZO中，导致半导体特性的失效。即便器件开始有半导体特性，随着时间的推移，性能也会恶化。尤其是BTS特性和Hyste ...

专业！
回复此楼
6楼2016-09-29 15:38:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zyc_cy

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by jiangcs02 at 2015-12-29 10:05:46
不要在氮化硅的薄膜上生长IGZO，SiNx中含有H元素，通过后续的制程工艺和相应的Anneal工艺，会扩散到IGZO中，导致半导体特性的失效。即便器件开始有半导体特性，随着时间的推移，性能也会恶化。尤其是BTS特性和Hyste ...

我就是以SiO2作为绝缘层，上面溅射IGZO，但是制备的TFT特性和楼主一样，换了不同氧氩比，200-500度的退火，出不来特性曲线。怎么回事？求解
赞一下 回复此楼
7楼2017-11-01 21:40:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 小珠珠alone 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 cqwQDCxMcL3I 2026-09-29 4/200 2026-09-30 13:35 by C3vABopYbZJS
[有机交流] 同一个分子，一条来自文献，一条来自AI——不告诉你答案，你会选哪条？ +4 tianxiaoxian 2026-09-28 7/350 2026-09-30 08:34 by 88817753
[博后之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-09-29 19:27 by cqwQDCxMcL3I
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 4/200 2026-09-29 16:37 by etmYJ6d2rquH
[博后之家] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 3/150 2026-09-29 16:30 by etmYJ6d2rquH
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 4/200 2026-09-29 15:15 by etmYJ6d2rquH
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 3/150 2026-09-29 14:58 by etmYJ6d2rquH
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 GDBe8tDZqE8z 2026-09-28 6/300 2026-09-29 14:41 by etmYJ6d2rquH
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 GDBe8tDZqE8z 2026-09-28 3/150 2026-09-29 14:30 by etmYJ6d2rquH
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 CfXuS1rDhLYN 2026-09-28 3/150 2026-09-29 14:24 by etmYJ6d2rquH
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +6 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 6/300 2026-09-29 14:13 by etmYJ6d2rquH
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +6 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 7/350 2026-09-29 14:07 by etmYJ6d2rquH
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 3/150 2026-09-29 13:56 by etmYJ6d2rquH
[考研] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 3/150 2026-09-29 09:59 by JzYBbHIXWSrW
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 3/150 2026-09-29 06:42 by ZvyPK8n6Nfki
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 GDBe8tDZqE8z 2026-09-28 3/150 2026-09-28 23:12 by b8fCuTHqckEt
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-09-28 22:55 by ez6fGg9abYaj
[找工作] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 5/250 2026-09-28 22:32 by ez6fGg9abYaj
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 6/300 2026-09-28 22:15 by ez6fGg9abYaj
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 CfXuS1rDhLYN 2026-09-28 3/150 2026-09-28 19:08 by 9lS3ad5oOymn
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭