| 查看: 1796 | 回复: 5 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
硅基金电极的刻蚀液选择 已有1人参与
|
|||
|
我做了一个硅基镀金片，用光刻将金电极图案做出来了，采用KI+I2+H2O的刻蚀液将多余金去除，用万用表测量后发现电极是导通的，可能是在金膜下面还有一层过渡金属铬或钛，我现在已经将光刻胶去除过了。 想问下： 1）去除铬选择什么刻蚀液，刻蚀速率如何控制？ 2）去除钛选择什么刻蚀液，速率能否控制？ 3）我刻蚀金后将光刻胶用丙酮去除了，现在刻蚀上面两种金属需要重新做光刻吗？ |
回复此楼» 猜你喜欢
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有253人回复
-
材料化学专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 染料敏化太阳电池刻蚀FTO玻璃
已经有7人回复
- 怎样在ITO电极上连接DNA
已经有8人回复
- 用ITO做工作电极，都是有哪些修饰方法？
已经有5人回复
- 求助ITO电极（导电玻璃电极）做阻抗的基本问题
已经有10人回复
- 请问用做电池电极的铜网什么规格？？？在哪儿可以买到？？？急急急！！！！
已经有13人回复
- 离子场效应晶体管与离子选择性电极的不同
已经有5人回复
- TMAH腐蚀硅片时保护硅片表面的铝电极
已经有8人回复
- 大家做没做过太阳能电池上栅电极的掩模板呀？求交流~
已经有6人回复
- 硅太阳能电池电极材料
已经有10人回复
- 湿法刻蚀硅片和铝箔用什么做掩膜比较好？
已经有4人回复
- 有机太阳能电池，为什么不是电子转移到透明电极上，而是空穴呢？
已经有24人回复
- 硅片湿法刻蚀 怎么刻蚀不上啊？求救
已经有11人回复
- 等离子刻蚀后的废气
已经有3人回复
- 有机薄膜太阳能电池 ITO电极怎么刻蚀好？
已经有26人回复
- 多晶硅、单晶硅、薄膜硅、非晶硅表面刻蚀技术
已经有3人回复
- 【求助】石墨电极的腐蚀问题
已经有3人回复
- 【求助】电极材料和铜箔接触剥落原因是什么
已经有12人回复
- 请问ITO电极是干什么用的，价格多少
已经有5人回复
zhizhigaoxin
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 312.2
- 帖子: 76
- 在线: 16.4小时
- 虫号: 6647599
- 注册: 2017-05-31
- 性别: GG
- 专业: 无机纳米化学
6楼2017-11-02 11:31:37
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2014-04-18 18:06:33
3楼2016-03-24 21:15:46
zhizhigaoxin
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 312.2
- 帖子: 76
- 在线: 16.4小时
- 虫号: 6647599
- 注册: 2017-05-31
- 性别: GG
- 专业: 无机纳米化学
4楼2017-11-02 11:27:43
