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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅基金电极的刻蚀液选择
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读书湖朱哥

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅基金电极的刻蚀液选择 已有1人参与

我做了一个硅基镀金片，用光刻将金电极图案做出来了，采用KI+I2+H2O的刻蚀液将多余金去除，用万用表测量后发现电极是导通的，可能是在金膜下面还有一层过渡金属铬或钛，我现在已经将光刻胶去除过了。
想问下：
       1）去除铬选择什么刻蚀液，刻蚀速率如何控制？
       2）去除钛选择什么刻蚀液，速率能否控制？
       3）我刻蚀金后将光刻胶用丙酮去除了，现在刻蚀上面两种金属需要重新做光刻吗？
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1楼 2014-04-02 18:50:05
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

铬腐蚀液用硝酸铈铵的某些溶液
钛用硝酸
配比真心不记得了，beckeley有一个列表，把常用的刻蚀和腐蚀的recipe都列出来了，你可以去他们网站下载。
不用重新做光刻，一般种子层的金属只有几个纳米，腐蚀液一漂就掉了。
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2楼2014-04-18 18:06:33
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Tabris_L

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-04-18 18:06:33
铬腐蚀液用硝酸铈铵的某些溶液
钛用硝酸
配比真心不记得了，beckeley有一个列表，把常用的刻蚀和腐蚀的recipe都列出来了，你可以去他们网站下载。
不用重新做光刻，一般种子层的金属只有几个纳米，腐蚀液一漂就掉 ...

请问一下那个列表的地址，谢谢啦
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3楼2016-03-24 21:15:46
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zhizhigaoxin

新虫 (小有名气)
1.铬刻蚀用硝酸+硝酸铈铵的溶液，刻蚀速率看要求调配比和加入缓蚀剂等添加剂

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4楼2017-11-02 11:27:43
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zhizhigaoxin

新虫 (小有名气)
2. 钛用钛钨刻蚀液，主成分是硝酸，调整配比也可以控制速率

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5楼2017-11-02 11:29:19
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zhizhigaoxin

新虫 (小有名气)
3. 不用重新做光刻，专用刻蚀液只针对特定金属刻蚀，金层不会被刻蚀，但要控制刻蚀速率，不然侧蚀会很严重

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6楼2017-11-02 11:31:37
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