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硅基金电极的刻蚀液选择 已有1人参与
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我做了一个硅基镀金片，用光刻将金电极图案做出来了，采用KI+I2+H2O的刻蚀液将多余金去除，用万用表测量后发现电极是导通的，可能是在金膜下面还有一层过渡金属铬或钛，我现在已经将光刻胶去除过了。 想问下： 1）去除铬选择什么刻蚀液，刻蚀速率如何控制？ 2）去除钛选择什么刻蚀液，速率能否控制？ 3）我刻蚀金后将光刻胶用丙酮去除了，现在刻蚀上面两种金属需要重新做光刻吗？ |
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