24小时热门版块排行榜    

查看: 1779  |  回复: 5
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

读书湖朱哥

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅基金电极的刻蚀液选择 已有1人参与

我做了一个硅基镀金片,用光刻将金电极图案做出来了,采用KI+I2+H2O的刻蚀液将多余金去除,用万用表测量后发现电极是导通的,可能是在金膜下面还有一层过渡金属铬或钛,我现在已经将光刻胶去除过了。
想问下:
       1)去除铬选择什么刻蚀液,刻蚀速率如何控制?
       2)去除钛选择什么刻蚀液,速率能否控制?
       3)我刻蚀金后将光刻胶用丙酮去除了,现在刻蚀上面两种金属需要重新做光刻吗?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Tabris_L

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-04-18 18:06:33
铬腐蚀液用硝酸铈铵的某些溶液
钛用硝酸
配比真心不记得了,beckeley有一个列表,把常用的刻蚀和腐蚀的recipe都列出来了,你可以去他们网站下载。
不用重新做光刻,一般种子层的金属只有几个纳米,腐蚀液一漂就掉 ...

请问一下那个列表的地址,谢谢啦
3楼2016-03-24 21:15:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 6 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

铬腐蚀液用硝酸铈铵的某些溶液
钛用硝酸
配比真心不记得了,beckeley有一个列表,把常用的刻蚀和腐蚀的recipe都列出来了,你可以去他们网站下载。
不用重新做光刻,一般种子层的金属只有几个纳米,腐蚀液一漂就掉了。
2楼2014-04-18 18:06:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhizhigaoxin

新虫 (小有名气)

1.铬刻蚀用硝酸+硝酸铈铵的溶液,刻蚀速率看要求调配比和加入缓蚀剂等添加剂

发自小木虫Android客户端
4楼2017-11-02 11:27:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhizhigaoxin

新虫 (小有名气)

2. 钛用钛钨刻蚀液,主成分是硝酸,调整配比也可以控制速率

发自小木虫Android客户端
5楼2017-11-02 11:29:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 好奇怪的filecode +3 布布和一二 2026-08-08 4/200 2026-08-08 17:46 by zhanghaozhu
[公派出国] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 17:27 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 17:22 by oEVWOejN9taj
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 5/250 2026-08-08 16:47 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 16:47 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 5/250 2026-08-08 16:27 by oEVWOejN9taj
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 5/250 2026-08-08 15:59 by oEVWOejN9taj
[博后之家] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 6/300 2026-08-08 14:42 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 KXLV3nuBVBY7 2026-08-07 6/300 2026-08-08 14:01 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 关于代码变化问题,想知道的进来 +11 且听虎啸 2026-08-07 14/700 2026-08-08 12:50 by 布布和一二
[硕博家园] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 6/300 2026-08-08 10:19 by 3OOjAIS77qg2
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变,有变的大神么? +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] 固定端突然变了,今天 +6 archvillain 2026-08-06 10/500 2026-08-07 16:03 by 医学老男孩
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
[基金申请] filecode +8 布布和一二 2026-08-06 11/550 2026-08-06 20:41 by tangpu318
[基金申请] 影响面上的因素 +8 布布和一二 2026-08-05 11/550 2026-08-06 10:41 by 宝贝虫子
[基金申请] 8月时间戳变的,举个手。玩一下,释放压力 +9 archvillain 2026-08-04 11/550 2026-08-05 20:06 by wlwhappy
[基金申请] 好消息?这个有何含义??? +8 Tide man 2026-08-05 10/500 2026-08-05 16:14 by xmuxiaoyu
[基金申请] 面上提前没消息,有中的吗 +14 archvillain 2026-08-02 18/900 2026-08-04 14:42 by archvillain
信息提示
请填处理意见