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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 分析 » 光谱分析 » XPS光电子能谱分析之———溅射速度问题
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mametozx

新虫 (小有名气)

[求助] XPS光电子能谱分析之———溅射速度问题 已有1人参与

大家好，请教一下问题。如题。
由于想去材料SiC表面以下的深度方向的分析，想看看表面下1um深度内的化学成分变化。各位是如何求得溅射SiC的去除率的？
各位用什么 仪器？有什么建议？
谢谢。
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1楼 2014-04-02 09:01:17
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dreampursuer

金虫 (正式写手)
你们都到哪里去做带深度分析的XPS的？
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君子博学而日参醒乎己。
7楼2015-02-27 17:26:17
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mametozx: 金币+2 2014-04-03 10:25:12
不太知道，标准溅射速率都是以二氧化硅为基础做的，换成别的物质都不是很准，只能拿到一个大概的结果，可以先喷一个然后看扫描断面校准一下
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2楼2014-04-02 11:09:21
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mametozx

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-04-02 11:09:21
不太知道，标准溅射速率都是以二氧化硅为基础做的，换成别的物质都不是很准，只能拿到一个大概的结果，可以先喷一个然后看扫描断面校准一下

既然别的物质不很准，那其他物质深度分析时，如果知道物质所在具体深度呢？另，您说先镀一个膜后做SEM断面观察校准，，，不太理解，。
意思是把这个膜溅射掉，利用厚度与时间 来算溅射速率？但在密闭的溅射环境中，无法知道具体什么 时间 被溅射掉的。这是一个问题。
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3楼2014-04-03 10:28:25
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
3楼: Originally posted by mametozx at 2014-04-03 10:28:25
既然别的物质不很准，那其他物质深度分析时，如果知道物质所在具体深度呢？另，您说先镀一个膜后做SEM断面观察校准，，，不太理解，。
意思是把这个膜溅射掉，利用厚度与时间 来算溅射速率？但在密闭的溅射环境中 ...

。。。溅射很长时间以后拿出来做SEM，时间是确定的，厚度可以测出来，准确的话只能这样了，一般情况只定性的话也不需要太准的溅射深度
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4楼2014-04-03 10:30:00
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