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XPS光电子能谱分析之———溅射速度问题 已有1人参与
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大家好，请教一下问题。如题。 由于想去材料SiC表面以下的深度方向的分析，想看看表面下1um深度内的化学成分变化。各位是如何求得溅射SiC的去除率的？ 各位用什么 仪器？有什么建议？ 谢谢。 |
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