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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 氧化锌薄膜（002）峰位的缺失之谜？
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低调幸福

新虫 (初入文坛)

[交流] 氧化锌薄膜（002）峰位的缺失之谜？ 已有2人参与

在（111）的硅片上制备氧化锌薄膜，传统文献上无一不例外都是（002）择优取向生长，为什么我衬底在25℃，150℃，300℃，450℃，600℃下制备（陶瓷氧化锌靶材）薄膜，（100），（101）峰强度很高，而（002）基本上没有呢？700℃退火之后只有衬底在150℃制备的薄膜出现了（002）峰，感到很疑惑？请高人指点

氧化锌薄膜（002）峰位的缺失之谜？
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1楼 2014-03-30 20:03:58
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lx520lx

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by lx520lx at 2015-02-12 23:25:41
1，氧化锌薄膜并非清一色的（002）择优取向，对于薄膜生长致密的时候（002）择优取向非常容易出现，但是其他择优取向也并不是没有，以前见过一篇文献报道sol-gel法控制不同晶面的择优取向，比如说，你这个和标准卡片 ...

（100）和（002）相互垂直，（100）择优取向的增加也会使（002）减弱，上面几个综合起来应该就差不多了吧；拙见，勿喷
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3楼2015-02-13 00:19:14
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lx520lx

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
1，氧化锌薄膜并非清一色的（002）择优取向，对于薄膜生长致密的时候（002）择优取向非常容易出现，但是其他择优取向也并不是没有，以前见过一篇文献报道sol-gel法控制不同晶面的择优取向，比如说，你这个和标准卡片比对会发现有点（100）生长取向的增强
2，我没有用物理方法做过所以不清楚，但对于你所给的XRD图谱来说，其他衍射峰都对着不错，说明是纤锌矿氧化锌错不了，而且（002）并没有消失，仍然存在
3，你做的氧化锌的粒径应该不大，因而衍射峰发生了明显的宽化，那么你所说的（002）缺失，其实是由于粒径比较小从而发生衍射峰宽化，以及（100）晶面有一些择优取向，使得（002）和（101）发生了重叠，而（002）本身强度比较低，使得看上去，（002）峰缺失了
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2楼2015-02-12 23:25:41
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apaqiye

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by lx520lx at 2015-02-12 23:25:41
1，氧化锌薄膜并非清一色的（002）择优取向，对于薄膜生长致密的时候（002）择优取向非常容易出现，但是其他择优取向也并不是没有，以前见过一篇文献报道sol-gel法控制不同晶面的择优取向，比如说，你这个和标准卡片 ...

类似这种取向生长，如果长成2d薄膜，平行于膜层的晶面厚度影响该面得衍射峰强度，那么，其它成一定角度的晶面衍射风强度有影响么？请教
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4楼2015-02-13 11:39:39
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