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氧化锌薄膜(002)峰位的缺失之谜? 已有2人参与
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在(111)的硅片上制备氧化锌薄膜,传统文献上无一不例外都是(002)择优取向生长,为什么我衬底在25℃,150℃,300℃,450℃,600℃下制备(陶瓷氧化锌靶材)薄膜,(100),(101)峰强度很高,而(002)基本上没有呢?700℃退火之后只有衬底在150℃制备的薄膜出现了(002)峰,感到很疑惑?请高人指点 13.jpg |
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1,氧化锌薄膜并非清一色的(002)择优取向,对于薄膜生长致密的时候(002)择优取向非常容易出现,但是其他择优取向也并不是没有,以前见过一篇文献报道sol-gel法控制不同晶面的择优取向,比如说,你这个和标准卡片比对会发现有点(100)生长取向的增强 2,我没有用物理方法做过所以不清楚,但对于你所给的XRD图谱来说,其他衍射峰都对着不错,说明是纤锌矿氧化锌错不了,而且(002)并没有消失,仍然存在 3,你做的氧化锌的粒径应该不大,因而衍射峰发生了明显的宽化,那么你所说的(002)缺失,其实是由于粒径比较小从而发生衍射峰宽化,以及(100)晶面有一些择优取向,使得(002)和(101)发生了重叠,而(002)本身强度比较低,使得看上去,(002)峰缺失了 |
2楼2015-02-12 23:25:41
lx520lx
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