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氧化锌薄膜（002）峰位的缺失之谜？ 已有2人参与
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在（111）的硅片上制备氧化锌薄膜，传统文献上无一不例外都是（002）择优取向生长，为什么我衬底在25℃，150℃，300℃，450℃，600℃下制备（陶瓷氧化锌靶材）薄膜，（100），（101）峰强度很高，而（002）基本上没有呢？700℃退火之后只有衬底在150℃制备的薄膜出现了（002）峰，感到很疑惑？请高人指点 13.jpg |
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1，氧化锌薄膜并非清一色的（002）择优取向，对于薄膜生长致密的时候（002）择优取向非常容易出现，但是其他择优取向也并不是没有，以前见过一篇文献报道sol-gel法控制不同晶面的择优取向，比如说，你这个和标准卡片比对会发现有点（100）生长取向的增强 2，我没有用物理方法做过所以不清楚，但对于你所给的XRD图谱来说，其他衍射峰都对着不错，说明是纤锌矿氧化锌错不了，而且（002）并没有消失，仍然存在 3，你做的氧化锌的粒径应该不大，因而衍射峰发生了明显的宽化，那么你所说的（002）缺失，其实是由于粒径比较小从而发生衍射峰宽化，以及（100）晶面有一些择优取向，使得（002）和（101）发生了重叠，而（002）本身强度比较低，使得看上去，（002）峰缺失了 |
2楼2015-02-12 23:25:41
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