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低调幸福

新虫 (初入文坛)

[交流] 氧化锌薄膜(002)峰位的缺失之谜? 已有2人参与

在(111)的硅片上制备氧化锌薄膜,传统文献上无一不例外都是(002)择优取向生长,为什么我衬底在25℃,150℃,300℃,450℃,600℃下制备(陶瓷氧化锌靶材)薄膜,(100),(101)峰强度很高,而(002)基本上没有呢?700℃退火之后只有衬底在150℃制备的薄膜出现了(002)峰,感到很疑惑?请高人指点

氧化锌薄膜(002)峰位的缺失之谜?
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lx520lx

木虫 (小有名气)


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1,氧化锌薄膜并非清一色的(002)择优取向,对于薄膜生长致密的时候(002)择优取向非常容易出现,但是其他择优取向也并不是没有,以前见过一篇文献报道sol-gel法控制不同晶面的择优取向,比如说,你这个和标准卡片比对会发现有点(100)生长取向的增强
2,我没有用物理方法做过所以不清楚,但对于你所给的XRD图谱来说,其他衍射峰都对着不错,说明是纤锌矿氧化锌错不了,而且(002)并没有消失,仍然存在
3,你做的氧化锌的粒径应该不大,因而衍射峰发生了明显的宽化,那么你所说的(002)缺失,其实是由于粒径比较小从而发生衍射峰宽化,以及(100)晶面有一些择优取向,使得(002)和(101)发生了重叠,而(002)本身强度比较低,使得看上去,(002)峰缺失了
2楼2015-02-12 23:25:41
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lx520lx

木虫 (小有名气)


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2楼: Originally posted by lx520lx at 2015-02-12 23:25:41
1,氧化锌薄膜并非清一色的(002)择优取向,对于薄膜生长致密的时候(002)择优取向非常容易出现,但是其他择优取向也并不是没有,以前见过一篇文献报道sol-gel法控制不同晶面的择优取向,比如说,你这个和标准卡片 ...

(100)和(002)相互垂直,(100)择优取向的增加也会使(002)减弱,上面几个综合起来应该就差不多了吧;拙见,勿喷
3楼2015-02-13 00:19:14
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apaqiye

铁杆木虫 (正式写手)


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2楼: Originally posted by lx520lx at 2015-02-12 23:25:41
1,氧化锌薄膜并非清一色的(002)择优取向,对于薄膜生长致密的时候(002)择优取向非常容易出现,但是其他择优取向也并不是没有,以前见过一篇文献报道sol-gel法控制不同晶面的择优取向,比如说,你这个和标准卡片 ...

类似这种取向生长,如果长成2d薄膜,平行于膜层的晶面厚度影响该面得衍射峰强度,那么,其它成一定角度的晶面衍射风强度有影响么?请教
4楼2015-02-13 11:39:39
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