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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 有谁知道怎么测试厚度约为80埃的薄膜？
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lixiaolong8_

新虫 (初入文坛)

[求助] 有谁知道怎么测试厚度约为80埃的薄膜？ 已有6人参与

如题，有没有同仁知道用什么方法可以测量ITO/Ag/ITO中顶层ITO薄膜的厚度（约80埃）？探针法的精确度也很难达到。拜托拜托~~~
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随心随性随缘
1楼 2014-03-07 11:42:51
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2014-03-10 08:34:35
lixiaolong8_: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2014-05-15 14:11:46
椭偏仪或白光干涉仪
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3楼2014-03-07 15:52:00
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lixiaolong8_

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2014-03-07 15:52:00
椭偏仪或白光干涉仪

椭偏仪的精度也达不到，SEM和场发射又只能检测断面上的膜厚。。。
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随心随性随缘
4楼2014-03-14 18:36:46
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普通回帖

maya5428

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2014-03-10 08:34:31
看SEM的截面照片不就可以吗。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2014-03-07 15:03:18
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by lixiaolong8_ at 2014-03-14 18:36:46
椭偏仪的精度也达不到，SEM和场发射又只能检测断面上的膜厚。。。...

怎么可能？椭偏仪的精度最差的也要0.1A啊。IC上的栅氧层比你这个薄多了，都是用椭偏测的。
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5楼2014-03-25 17:47:01
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chemlh

荣誉版主 (著名写手)

【答案】应助回帖

台阶仪      就是测膜厚的
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没有伞的孩子，必须努力奔跑！Ibelieve,Ican.
6楼2014-03-25 17:49:17
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azuoin

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2014-03-25 17:47:01
怎么可能？椭偏仪的精度最差的也要0.1A啊。IC上的栅氧层比你这个薄多了，都是用椭偏测的。...

椭偏仪应该可以。ITO厚度测量椭偏仪应用比较成熟
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7楼2014-04-29 09:50:39
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鲸鱼先生

木虫 (著名写手)

一条大鱼

【答案】应助回帖

穿越千年: 欢迎来本版交流 2014-05-05 07:48:02
你做薄膜的时候留点空，然后用AFM扫描图像，用软件在图像上一划，就可以得出厚度来
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新的奋斗天天开始
8楼2014-05-04 20:20:11
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bazhuayuyu

木虫 (著名写手)
chemlh: 欢迎积极交流 2014-05-05 18:47:58
离子溅射+XPS 测In、Sn的深度分布
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9楼2014-05-05 17:26:57
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MQWYY3

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

用台阶仪应该是可以的了
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愿得一人心 白首不相离
10楼2014-05-05 19:01:33
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